一种CMP抛光设备用夹持装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821727211.5
IPC分类号：B24B29/02;B24B41/06
申请日期：
2018-10-24
申请人：
爱利彼半导体设备（中国）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种CMP抛光设备用夹持装置
申请号	CN201821727211.5	申请日期	2018-10-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕 B24B29/02 适用于特殊工件的〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6查看分类表>
申请人	爱利彼半导体设备（中国）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山开发区前进路南侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	爱利彼半导体设备（中国）有限公司	当前权利人	爱利彼半导体设备（中国）有限公司
发明人	常强;肖学才;方明喜
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台，所述工作台上表面一侧焊接有挡板，所述挡板的一端通过螺栓固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端通过螺栓连接有夹板，所述工作台表面一侧开设有通槽，所述工作台的另一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部放置有连接板，该CMP抛光设备用夹持装置，通过工作台上方的一侧设置有第二电动推杆，通过相对应的两个第二电动推杆推动两个夹板，然后将需要加工的物件放置在两个夹板之间，直至将物件给夹紧，进而方便操作人员对物件的固定，由于夹板是由两个卡板和弹簧组合而成的，进而在夹持的过程中，在夹持的过程中起到一个缓冲的作用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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