一种开关装置和刻蚀装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320239994.3
IPC分类号：H01L21/00;C23F1/08
申请日期：
2013-05-06
申请人：
北京京东方光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种开关装置和刻蚀装置
申请号	CN201320239994.3	申请日期	2013-05-06
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;C;2;3;F;1;/;0;8查看分类表>
申请人	北京京东方光电科技有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司
发明人	孙文昌
代理机构	北京派特恩知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王黎延;张振伟

摘要

本实用新型公开了一种开关装置，包括：气缸、开关盒和开关盒上设置的基板入口；其特征在于，所述开关装置还包括：与所述开关盒底部相连的用于遮挡所述基板入口的推拉板、与所述推拉板相连的拉动杆、用于与所述推动杆和气缸相结合控制所述推拉板的开启和关闭的推动杆；所述开关装置还包括：位于所述开关盒底部的至少一个与报警装置相连的第一复位传感器，所述推拉板完全开启时压在所述第一复位传感器上。本实用新型还同时公开了一种刻蚀装置，本实用新型可解决因开关上的基板入口没有完全打开造成的基板表面被划伤的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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