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一种准同步封装的装置及控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510197621.8
  • IPC分类号:H01L21/56;H01L51/56
  • 申请日期:
    2015-04-24
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种准同步封装的装置及控制方法
申请号CN201510197621.8申请日期2015-04-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-11-23公开/公告号CN106158669A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/56IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;5;6;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人聂仕华;陈明;谢仁飚;赵娟
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅
摘要
本发明公开一种准同步封装的装置,包括:一激光功率控制器,用于控制一激光器提供一不同功率的激光光束;一振镜单元,该振镜单元包括一X‑Y向振镜以及一角度测量传感器,该激光光束经该X‑Y向振镜反射在一待封装物体表面形成一封装光斑,该角度测量传感器用于测量该X‑Y向振镜的偏转角度;一振镜检测控制单元,该振镜检测控制单元与该振镜单元以及该激光功率控制器相连,根据该X‑Y向振镜的偏转角度控制该激光功率控制器。

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