一种基于蓝宝石衬底上刻蚀氧化镓薄膜的电路辅助系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120323178.5
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2021-02-04
申请人：
黑龙江工程学院

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著录项信息

专利名称	一种基于蓝宝石衬底上刻蚀氧化镓薄膜的电路辅助系统
申请号	CN202120323178.5	申请日期	2021-02-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	黑龙江工程学院	申请人地址	山东省青岛市道外区东直路234号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	黑龙江工程学院	当前权利人	黑龙江工程学院
发明人	刘艳微;赵树军
代理机构	北京天盾知识产权代理有限公司	代理人	张可可

摘要

本实用新型公开了一种基于蓝宝石衬底上刻蚀氧化镓薄膜的电路辅助系统，包括：等离子设备控制系统、刻蚀电流控制模块、刻蚀电压控制模块，所述刻蚀电流控制模块包括采集输入电流的电流采样电路、电流采集卡和ADC；所述刻蚀电压控制模块包括电压检测电路，所述电压检测电路由两组MOS管对向串联连接组成的输入缓冲电路，所述电压检测电路还包括电压保持校准电路，该电压保持校准电路包括缓冲器和两路开关，第一路开关耦接输入缓冲电路反向输出端，且第二路开关耦接输入缓冲电路同向输出端，通过电压检测电路检测刻蚀电压实现整个周期的快速响应，通过电压保持校准电路有效的提高了电压检测电路整体的采样速度，通过电压采集校准电路实现精准校准。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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