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具有阳离子型表面活性剂及环糊精的加工钨的浆料

发明专利有效专利

申请号：
CN201680062494.3
IPC分类号：C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;B01J23/745
申请日期：
2016-10-21
申请人：
嘉柏微电子材料股份公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有阳离子型表面活性剂及环糊精的加工钨的浆料
申请号	CN201680062494.3	申请日期	2016-10-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-31	公开/公告号	CN108350318A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/02 含有磨料或研磨剂	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;2;;;C;0;9;G;1;/;0;4;;;C;0;9;K;3;/;1;4;;;B;0;1;J;2;3;/;7;4;5查看分类表>
申请人	嘉柏微电子材料股份公司	申请人地址	美国伊利诺伊州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	CMC材料股份有限公司	当前权利人	CMC材料股份有限公司
发明人	K.多克里;黄禾琳;富琳;李常怡
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邢岳

摘要

描述了用于对含有钨的基板的表面进行化学‑机械抛光(或平面化)的化学‑机械抛光组合物(例如浆料)以及所述浆料的使用方法，所述组合物含有阳离子型表面活性剂及环糊精。

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