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平衡质量系统及其工件台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910199196.0
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2009-11-20
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称平衡质量系统及其工件台
申请号CN200910199196.0申请日期2009-11-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-05-25公开/公告号CN102073219A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人郑乐平;吴立伟;庞璐;方敏
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明提出一种具平衡质量系统的工件台,包括基座、微动台、粗动台和平衡质量系统。粗动台包括两个Y向长行程电机和由两个Y向长行程电机驱动的两个Y向长行程滑块。平衡质量系统包括由气浮相连的下层平衡块和四个上层平衡块。下层平衡块垂直气浮于基座并具有两个Y向气浮导轨和两个Y向导轨,两个Y向导轨上可滑动地设置有两个Y向长行程滑块。四个上层平衡块的端部利用多个柔性铰链将其首尾相连形成口字形状,设置在两个Y向气浮导轨上,这些上层平衡块具有两个Y向电机定子导轨,两个Y向长行程电机的动子分别可滑动地设置在两个Y向电机定子导轨上。本发明提供的工件台能在Rz方向上消减对微动台的负面影响。

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