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具有大表面面积的接地限制环

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201080014577.8
  • IPC分类号:H01L21/3065;H05H1/24
  • 申请日期:
    2010-04-06
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称具有大表面面积的接地限制环
申请号CN201080014577.8申请日期2010-04-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-03-14公开/公告号CN102379029A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3065
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5;;;H;0;5;H;1;/;2;4查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人阿列克谢·马拉赫塔诺夫;拉金德尔·德辛德萨
代理机构上海胜康律师事务所代理人李献忠
摘要
本发明提供了与驱动器和材料供应源联用的晶片处理系统。所述驱动器可操作地产生驱动信号。所述材料供应源可操作地提供材料。所述晶片处理系统包括上限制腔部分、下限制腔部分、限制环和静电卡盘。所述上限制腔部分含有上限制腔部分内表面。所述下限制腔部分被配置为可拆分地与所述上限制腔部分接触。所述下限制腔部分含有下限制腔部分内表面。所述限制环被配置为可拆分地与所述上限制腔部分内表面和所述下限制腔部分内表面接触。所述限制环含有限制环内表面。所述静电卡盘含有静电卡盘上表面并被设置为接收所述驱动信号。所述上限制腔部分、所述下限制腔部分、所述限制环和所述静电卡盘被设置为使得所述上限制腔部分内表面、所述下限制腔部分内表面、所述限制环内表面和所述静电卡盘上表面围绕能够接收所述材料的等离子体形成空间。当所述静电卡盘收到所述驱动信号时,所述上限制腔部分、所述下限制腔部分、所述限制环和所述静电卡盘可操作地将所述材料转换为等离子体。所述限制环含有非矩形横截面。

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