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侧排型基板处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280068840.0
  • IPC分类号:C23C16/00
  • 申请日期:
    2012-11-23
  • 申请人:
    株式会社EUGENE科技
著录项信息
专利名称侧排型基板处理装置
申请号CN201280068840.0申请日期2012-11-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-10-15公开/公告号CN104105813A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/00IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;0;0查看分类表>
申请人株式会社EUGENE科技申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社EUGENE科技当前权利人株式会社EUGENE科技
发明人梁日光,宋炳奎,金劲勋,申良湜
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王小东
摘要
根据本发明的一个实施方式,一种基板处理装置包括:腔室本体,该腔室本体的上部打开,并且在该腔室本体中提供一内部空间,在该内部空间中对于基板进行处理,腔室盖,该腔室盖安装在腔室本体上并且用于关闭该腔室本体的上部,以及喷洒头,该喷洒头安装在腔室盖的下方并且用于朝向该内部空间供应处理气体,其中所述腔室本体包括:至少一个会聚口,该会聚口沿着侧壁布置中内部上并且用于会聚内部空间内的气体,多个内部排气孔,这多个内部排气孔形成在所述侧壁上并且用于允许所述会聚口及所述内部空间之间的连通,以及多个内部排气口,这多个内部排气口连接至所述会聚口。

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