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气体渗碳处理装置和气体渗碳方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010198564.2
  • IPC分类号:C23C8/22
  • 申请日期:
    2010-06-07
  • 申请人:
    光洋热系统株式会社
著录项信息
专利名称气体渗碳处理装置和气体渗碳方法
申请号CN201010198564.2申请日期2010-06-07
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2011-02-02公开/公告号CN101962745A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C8/22IPC分类号C;2;3;C;8;/;2;2查看分类表>
申请人光洋热系统株式会社申请人地址
日本奈良县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人光洋热系统株式会社当前权利人光洋热系统株式会社
发明人山本亮介;辻庄平
代理机构北京市金杜律师事务所代理人杨宏军
摘要
本发明提供一种能够以低处理成本、且更短的时间进行工件的渗碳的气体渗碳方法和用于该方法的气体渗碳处理装置。在对金属制的工件实施渗碳处理和扩散处理的气体渗碳处理装置上设置有感应加热装置(12)和作为气体控制部的质量流量控制器(13)。并且,在进行渗碳处理时,将烃气和惰性气体各自的供给量的总量设定为恒定量、将处理室主体(10)内的烃气的浓度维持在恒定浓度,同时向处理室本体(10)内供给上述两种气体,并且感应加热工件W。由此能够以低处理成本、且更短的时间进行工件的渗碳处理。

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