一种治具

发明专利有效专利

申请号：
CN202110768871.8
IPC分类号：H01J37/32;H01L21/67;B08B1/04
申请日期：
2021-07-07
申请人：
长鑫存储技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种治具
申请号	CN202110768871.8	申请日期	2021-07-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-22	公开/公告号	CN113539777A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;8;B;1;/;0;4查看分类表>
申请人	长鑫存储技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长鑫存储技术有限公司	当前权利人	长鑫存储技术有限公司
发明人	魏中阳
代理机构	北京名华博信知识产权代理有限公司	代理人	李俊红

摘要

本公开是关于一种治具，所述治具为半导体刻蚀机用治具，所述治具包括支撑机构，用于设置在所述半导体刻蚀机的静电卡盘的外侧底座上；清洁机构，可转动地设置在所述支撑机构上；至少一个清洁单元，设置在所述清洁机构上。本公开提供的技术方案应用于半导体刻蚀机中，能够代替人工操作，减少人员配备，解决人工操作导致的不统一性和不均衡性，还可以解决由于人工操作不当而造成的零部件损坏的问题，大大降低零部件损坏风险，减少更新零部件带来的费用增加，降低生产成本，同时，减少设备停机时间，提高设备的正常运行时长，提高产能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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