反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机

发明专利有效专利

申请号：
CN202110117962.5
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54
申请日期：
2021-01-28
申请人：
中国核动力研究设计院

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著录项信息

专利名称	反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机
申请号	CN202110117962.5	申请日期	2021-01-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-04	公开/公告号	CN112899636A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	中国核动力研究设计院	申请人地址	四川省成都市双流区长顺大道一段328号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国核动力研究设计院	当前权利人	中国核动力研究设计院
发明人	张瑞谦;王昱;陈寰;张超;邱绍宇;褚家宝;熊凯
代理机构	成都行之专利代理事务所（普通合伙）	代理人	张严芳

摘要

本发明公开了反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机，解决了现有的核反应堆用的大长径比的锆管镀膜所用的镀膜机的加热均匀性、电弧均匀性不好以及密封性不好，从而导致镀层要么结合力不足，要么均匀性不足，要么稳定性不足的技术问题。本发明包括公转组件和自转组件，所述公转组件包括大转盘和大齿轮，所述大转盘和大齿轮通过轴连接，所述大转盘位于所述大齿轮的下方，所述自转组件包括小齿轮和自转轴，所述小齿轮与所述大齿轮啮合，所述自转轴与所述大转盘连接，所述自转轴上安装工件。本发明具有镀膜均匀、结合力好等优点。

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