用于检查的方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201680082561.8
IPC分类号：H01J37/065;H01J37/15
申请日期：
2016-12-09
申请人：
ASML荷兰有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于检查的方法和设备
申请号	CN201680082561.8	申请日期	2016-12-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-23	公开/公告号	CN108701576A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/065 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/06 电子源；电子枪 H01J37/065 枪或其部件的构造（H01J 37/067至H01J 37/077优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;6;5;;;H;0;1;J;3;7;/;1;5查看分类表>
申请人	ASML荷兰有限公司	申请人地址	荷兰维德霍温变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML荷兰有限公司	当前权利人	ASML荷兰有限公司
发明人	B·卡斯川普;J·C·H·缪尔肯斯;M·A·范登布林克;约瑟夫·帕卓斯·亨瑞克瑞·本叔普;E·P·斯马克曼;T·朱兹海妮娜;C·A·维索尔伦
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	闫红

摘要

本发明公开了一种电子束检查设备，该设备包括：多个电子束柱(600)，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子；和致动器系统(600，610)，其配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动(640，630)。所述致动器系统可包括多个第一可移动结构，所述多个第一可移动结构与多个第二可移动结构至少部分地重叠，所述第一可移动结构和所述第二可移动结构支撑所述多个电子束柱。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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