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一种多坩埚梯度冷凝晶体生长装置及其用于生长大尺寸溴化镧单晶的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911000067.4
  • IPC分类号:C30B11/00C30B29/12
  • 申请日期:
    2019-10-21
  • 申请人:
    哈尔滨元雅新材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种多坩埚梯度冷凝晶体生长装置及其用于生长大尺寸溴化镧单晶的方法
申请号CN201911000067.4申请日期2019-10-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-12-20公开/公告号CN110592659A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B11/00IPC分类号C30B11/00;C30B29/12查看分类表>
申请人哈尔滨元雅新材料科技有限公司申请人地址
黑龙江省哈尔滨市松北区(深圳龙岗)科技创新产业园13栋4楼401-*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨元雅新材料科技有限公司当前权利人哈尔滨元雅新材料科技有限公司
发明人牛晓冉;刘涛
代理机构哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙)代理人王艳萍
摘要
一种多坩埚梯度冷凝晶体生长装置及其用于生长大尺寸溴化镧单晶的方法,它涉及生长溴化镧单晶的装置及方法。它是要解决现有的溴化镧单晶的生长方法的单晶质量差、易开裂的技术问题。该装置包括双层壳体、保温盖、内衬陶瓷管、两组外加热线圈、两组内加热线圈、多个控温热电偶、多个坩埚托、多个石英坩埚;其中内衬陶瓷管设置在圆柱形双层壳体的轴线上;多个坩埚托均布并固定在双层壳体与内衬陶瓷管之间的环形区域内;两组外加热线圈设置在双层壳体内;两组内加热线圈设置在内衬陶瓷管上。本方法:将溴化镧籽晶封装在石英坩埚中,再放到坩埚托上,采用全静态的原位梯度冷凝降温生长和退火,得到无开裂的大尺寸溴化镧单晶,可用于晶体生长领域。

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