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回收槽车内高纯气体余气的装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620838053.5
  • IPC分类号:F17C5/00;F17C13/04;F17C13/02;F17C7/04
  • 申请日期:
    2016-08-04
  • 申请人:
    沈阳洪生气体有限公司
著录项信息
专利名称回收槽车内高纯气体余气的装置
申请号CN201620838053.5申请日期2016-08-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17C5/00IPC分类号F;1;7;C;5;/;0;0;;;F;1;7;C;1;3;/;0;4;;;F;1;7;C;1;3;/;0;2;;;F;1;7;C;7;/;0;4查看分类表>
申请人沈阳洪生气体有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市经济技术开发区八号街6甲2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳洪生气体有限公司当前权利人沈阳洪生气体有限公司
发明人彭璐;张辉;赵大伟;闫利群
代理机构沈阳智龙专利事务所(普通合伙)代理人周智博;宋铁军
摘要
回收槽车内高纯气体余气的装置,该装置包括汽化器、高纯气体在线分析仪、储罐、膜压机和汇流排;本实用新型在膜压机前加装储罐起到缓冲的作用保证供气的稳定性,在管路上设置高纯气体在线分析仪,同时加装气动切断阀和气动放空阀,当纯度大于99.999%时气动放空阀关闭,气动切断阀打开,当纯度小于99.999%时气动切断阀关闭,气动放空阀打开,同时在储罐上加装电接点压力表当压力低于0.1MPa时联锁停膜压机,汇流排加装电接点压力表当充装压力高与15MPa时联锁停膜压机。

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