一种一维微平动机构

发明专利有效专利

申请号：
CN201110382126.6
IPC分类号：G01B9/02;G02B7/02
申请日期：
2011-11-25
申请人：
中国科学院光电技术研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种一维微平动机构
申请号	CN201110382126.6	申请日期	2011-11-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-27	公开/公告号	CN102519355A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;2;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	吴永前;伍凡;万勇建;范斌
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	李新华;成金玉

摘要

本发明公开了一种基于弹性导向机构的一种一维微平动机构，微位移驱动器的输出端的球头和垫块采用单向接触方式，环形弹性薄片是具有旋转对称的U形连接的环形弹性薄片机构，其内环与内导向套筒通过螺钉紧固，外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动机构输出平台作一维单向微位移时不会发生转动，并具有在各种工作姿态下和受各种方向的小负载的情况下，实现精密直线微位移导向的功能。本发明具有结构简单，造价低廉，维护和保养容易等优点，解决了微位移驱动器的位移输出不同步带来的问题，并且减小了驱动控制的复杂度，机构中心位置留有较大空间，有利于通光或通过其它器件，适用于各种微纳级一维位移调整机构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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