一种三自由度高精密定位运动台装置的定位方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200710172936.2
IPC分类号：G12B5/00;B25H1/00
申请日期：
2007-12-25
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专利名称	一种三自由度高精密定位运动台装置的定位方法
申请号	CN200710172936.2	申请日期	2007-12-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G12B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G2 核子学 G12 仪器的零部件 G12B 仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件 G12B5/00 仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的	IPC分类号	G;1;2;B;5;/;0;0;;;B;2;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	暂无	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	张方元;沈锦华;陈锐
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

一种三自由度高精密定位运动台装置的定位方法，该运动台装置除包含运动平台外，还包含水平丝杠电机，第一垂直丝杠电机和第二垂直丝杠电机，以及各自对应设置的Home位置传感器；该运动台装置的定位方法通过采用水平方向，垂直方向及旋转角度的三自由度坐标系标定方法，对运动台装置进行坐标零位搜索定位。本发明提供的定位方法可在重复定位中达到微米和微弧度级的高精度，且在定位过程中三个自由度方向均不存在定位死区，同时，本发明提供的定位方法简单合理，实现成本较低。

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