化学品更换智能防呆系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710218335.4
IPC分类号：H01L21/67;G07C9/00
申请日期：
2017-04-05
申请人：
玄创半导体设备（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	化学品更换智能防呆系统及方法
申请号	CN201710218335.4	申请日期	2017-04-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-23	公开/公告号	CN108695186A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;G;0;7;C;9;/;0;0查看分类表>
申请人	玄创半导体设备（上海）有限公司	申请人地址	上海市宝山区蕰川路5475号4幢部分4178室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	玄创半导体设备（上海）有限公司	当前权利人	玄创半导体设备（上海）有限公司
发明人	赵德闻
代理机构	上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	邓文武

摘要

本发明涉及一种化学品更换智能防呆系统，包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，推车组合柜包括若干化学品储存分柜，推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏。本发明防呆方法包括取品、换品、回收等步骤。本发明采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息的正确性，具有更换化学品智能防呆的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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