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大功率溅射镀膜源

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200520055856.5
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2005-03-14
  • 申请人:
    深圳南玻南星玻璃加工有限公司
著录项信息
专利名称大功率溅射镀膜源
申请号CN200520055856.5申请日期2005-03-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人深圳南玻南星玻璃加工有限公司申请人地址
广东省深圳市南山区蛇口荔园路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳南玻南星玻璃加工有限公司当前权利人深圳南玻南星玻璃加工有限公司
发明人陈海峰
代理机构深圳市中知专利商标代理有限公司代理人王雄杰
摘要
本实用新型涉及一种大功率溅射镀膜源,一内装磁体的可旋转靶筒安置于真空室,一筒型旋转头连接可旋转靶筒并置于真空室外,一使旋转头在旋转中仍能与导电环保持良好接触的弹簧将导电环与旋转头的一个外环相压紧,导电环与电极相连。由于本实用新型采用了良好的绝缘方式和材料,压紧式导电环,使得绝缘良好,大电流导电非常可靠,靶材在溅射时由电机带动旋转,且通以冷却介质,冷却良好,本镀膜源可以运行在大功率下(100KW以上),靶的尺寸可以很大,极大地提高了镀膜的生产效率,适合于大规模工业化的真空镀膜。

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