一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201310221698.5
IPC分类号：G01C19/574;G01C19/5769
申请日期：
2013-06-05
申请人：
中国科学院地质与地球物理研究所

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专利名称	一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺
申请号	CN201310221698.5	申请日期	2013-06-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-12-17	公开/公告号	CN104215236A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/574 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5719 使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件〔2012.01〕 G01C19/5733 结构细节或拓扑〔2012.01〕 G01C19/574 反相运动中具有两个传感部件的装置〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;7;4;;;G;0;1;C;1;9;/;5;7;6;9查看分类表>
申请人	中国科学院地质与地球物理研究所	申请人地址	浙江省嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼1层101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江芯动科技有限公司	当前权利人	浙江芯动科技有限公司
发明人	于连忠;孙晨
代理机构	北京金之桥知识产权代理有限公司	代理人	林建军

摘要

一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过所述外框架相连接；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接；所述内框架与所述外框架之间的相对边设置有梳状耦合结构；两个所述质量块在垂直方向上以相反方向振动，本发明通过测量所述梳状耦合结构之间的电容变化来测量旋转角速度。本发明具有检测灵敏度高、耦合能耗小、噪声小等特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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