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一种用于功率器件封装的烧结设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010820160.6
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2020-08-14
  • 申请人:
    深圳第三代半导体研究院
著录项信息
专利名称一种用于功率器件封装的烧结设备
申请号CN202010820160.6申请日期2020-08-14
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-12-11公开/公告号CN112071775A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人深圳第三代半导体研究院申请人地址
广东省深圳市龙华区观光路1310号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳第三代半导体研究院当前权利人深圳第三代半导体研究院
发明人刘旭;叶怀宇;田天成;张国旗
代理机构北京中知法苑知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明涉及功率半导体器件制造技术领域,具体提供一种用于功率器件封装的烧结设备,包括第一承靠座(1)、与所述第一承靠座(1)相对设置的第二承靠座(2)、用于密封所述第一承靠座(1)和所述第二承靠座(2)的烧结腔体(3);所述第一承靠座(1)和所述第二承靠座(2)可彼此相对地往复移动;所述烧结腔体(3)包括包围所述第一承靠座(1)并且固定设置的第一腔体结构(301),以及包围所述第二承靠座(2)设置并且随所述第二承靠座(2)往复移动的第二腔体结构(302)。根据本发明的用于功率器件封装的烧结设备,结构简单,能够节省复杂的运动机构,同时保证功率器件的位置稳定,保证成品率,提升烧结效率。

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