一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201611184955.2
IPC分类号：C30B29/06;C30B28/06
申请日期：
2016-12-20
申请人：
大连理工大学

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专利名称	一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法
申请号	CN201611184955.2	申请日期	2016-12-20
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-31	公开/公告号	CN106757336A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市高新园区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	李鹏廷;任世强;庄辛鹏;谭毅;姜大川;李佳艳
代理机构	大连东方专利代理有限责任公司	代理人	赵淑梅;李洪福

摘要

本发明公开了一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法，所述设备包括水冷柱，所述水冷柱的侧壁外侧设有环形石墨坩埚，所述水冷柱和所述环形石墨坩埚的轴线位于同一直线上，所述环形石墨坩埚的侧壁外侧设有环形发热体，所述环形发热体的侧壁外侧设有环形加热体，所述环形石墨坩埚的底部设有旋转托盘，所述水冷柱内设有循环流道。本发明采用的是横向凝固方式，并且材料用离心力保证固液界面扩散层厚度降低，增加其分凝效果。

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