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具有群组补偿能力的曝光系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN03138635.0
IPC分类号：G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027
申请日期：
2003-05-21
申请人：
南亚科技股份有限公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有群组补偿能力的曝光系统及方法
申请号	CN03138635.0	申请日期	2003-05-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2004-11-24	公开/公告号	CN1549057
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	南亚科技股份有限公司	申请人地址	台湾省桃园县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南亚科技股份有限公司	当前权利人	南亚科技股份有限公司
发明人	郭荣治;陈任和
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	王一斌

摘要

一种具有群组补偿能力的曝光系统，包括一批货分类数据库、一补偿单元与一第一曝光装置。批货分类数据库中记录相应批货晶圆的群组分类。补偿单元由批货分类数据库取得相应批货晶圆的群组分类，依据群组分类检索相应的群组补偿值，并依据群组补偿值对于相应的对准参数进行补偿。第一曝光装置使用补偿后的对准参数对于批货晶圆进行包含对准与曝光作业的后端制程。

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