一种掩膜装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020056405.4
IPC分类号：G03F1/14
申请日期：
2010-01-12
申请人：
深圳莱宝高科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种掩膜装置
申请号	CN201020056405.4	申请日期	2010-01-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/14 （转入G03F 1/00-G03F 1/86）	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;1;4查看分类表>
申请人	深圳莱宝高科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市南山区高新技术产业园区朗山二路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳莱宝高科技股份有限公司	当前权利人	深圳莱宝高科技股份有限公司
发明人	王士敏;李绍宗;郭志勇;钟荣苹
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及平板显示器技术领域，尤其涉及一种掩膜装置。掩膜装置用于面板的膜层加工，其包括基体材料层和表面涂层。基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成，表面涂层设置于基体材料层的一侧，用于避免基体材料层与面板直接接触，且表面涂层由柔性且耐高温材料制成。本实用新型通过增设由柔性耐高温材料制成的表面涂层来避免基体材料层与面板直接接触，避免掩膜装置损伤面板或其上的已有膜层，保证面板具有更高的良品率。

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