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液体喷头的对准装置及其对准方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200710149744.X
  • IPC分类号:B41J25/24;G02B21/36;G02B21/00
  • 申请日期:
    2007-09-05
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称液体喷头的对准装置及其对准方法
申请号CN200710149744.X申请日期2007-09-05
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2008-03-12公开/公告号CN101138911
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B41J25/24IPC分类号B;4;1;J;2;5;/;2;4;;;G;0;2;B;2;1;/;3;6;;;G;0;2;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人稻冈靖雄;奥村资纪;太田睦彦;后藤和敏;柳泽功;冈室琢磨
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人李贵亮
摘要
一种液体喷头的对准装置及其对准方法,即使在基准标记和对准标记的距离远离的情况下也能进行高精度的定位。该对准装置具有:作为透明部件的膜片(410),其设有对准标记(22)进行对位的基准标记(401);衬垫夹具(430),其在固定板(250)和膜片(410)之间,一个面与固定板(250)相接,并且另一个面与膜片(410)相接,从而使基准标记(401)和对准标记(22)隔着空间相对置;双焦点显微镜(500),其如下构成,光轴(L)从膜片(410)的与衬垫夹具侧相反侧经由基准标记(401)及空间朝向对准标记(22)的方向,共有光轴(L)的一个光学系统(501)能将焦点与对准标记(22)对合,并且另一个光学系统(502)能将焦点与基准标记(401)对合。

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