一种光学表面亚表层损伤测量装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020516456.0
IPC分类号：G01N21/88;G01B11/30
申请日期：
2010-09-03
申请人：
西安工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种光学表面亚表层损伤测量装置
申请号	CN201020516456.0	申请日期	2010-09-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	西安工业大学	申请人地址	陕西省西安市金花北路四号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安工业大学	当前权利人	西安工业大学
发明人	田爱玲;王春慧;王红军;刘丙才
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司	代理人	黄秦芳

摘要

本实用新型涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本实用新型包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器通过信号处理及传输模块、表面反射光计算处理模块与控制显示模块连接，Z向压电微位移扫描平台也与控制显示模块连接。本实用新型能实现非破坏、定量测量，纵向测量范围更大，且适应性强，不受加工工艺的制约。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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