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一种多功能超声清洗装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120843238.6
  • IPC分类号:B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;B24B13/00;B24B55/06
  • 申请日期:
    2021-04-23
  • 申请人:
    上海天岳半导体材料有限公司
著录项信息
专利名称一种多功能超声清洗装置
申请号CN202120843238.6申请日期2021-04-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/12IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;B;2;4;B;1;3;/;0;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6查看分类表>
申请人上海天岳半导体材料有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢301室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海天岳半导体材料有限公司当前权利人上海天岳半导体材料有限公司
发明人吴殿瑞;向远旺;裴卫博;刘浩
代理机构北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)代理人冯妙娜
摘要
本申请公开了一种多功能超声清洗装置,其包括壳体、超声发生器;所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽,所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置,所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧,所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面,所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧,所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面;所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。本申请通过设置喷淋装置向待清洗件A表面喷淋清洗剂,再通过设置打磨装置打磨待清洗件A的表面,最后超声清洗,使得待清洗件A表面的结晶能够被完全去除,不会影响后续的长晶过程;该装置清洁效果好,节省了人力投入,工作效率高。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供