传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN99110451.X
IPC分类号：--
申请日期：
1999-07-14
申请人：
松下电器产业株式会社

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	传感器
申请号	CN99110451.X	申请日期	1999-07-14
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2000-02-02	公开/公告号	CN1243244
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	松下电器产业株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电器产业株式会社	当前权利人	松下电器产业株式会社
发明人	池田雅春;江刺正喜
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杨国旭

摘要

在半导体基底的前表面上形成了一个保护电极且经过一个绝缘层在保护电极上形成了一个固定电极。借助一个隔膜在固定电极上形成了一个腔，且在这些隔膜层之间形成了一个运动电极。形成了从基底的后表面延伸并到达腔的一个基底通孔。提供了一个运算放大器，它驱动保护电极从而使保护电极的电位与固定电极的电位相等。固定电极与运动电极之间的电容的改变被转换成与隔膜的位移直接相关的电压。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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