一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010425438.X
IPC分类号：G01B11/00G01B11/25
申请日期：
2020-05-19
申请人：
复旦大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法
申请号	CN202010425438.X	申请日期	2020-05-19
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-08-14	公开/公告号	CN111536873A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G01B11/00;G01B11/25查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路2*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	张祥朝;刘毓哲;牛振岐
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	陆惠中;王永伟

摘要

本发明涉及精密测量技术领域，具体为一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法。本发明的实施步骤为：在偏折测量系统中采用两个相机，保证其测量视场有一定重合；基于双目偏折测量技术对重合视场的面形进行测量，然后将该数据点集与工件的设计面形进行配准，将设计方程移动到实际测量数据的配准位置处；保持测量数据的位置不动，采用单目偏折测量迭代得到被测元件的面形。本方法结合了单目测量和双目测量两种测量方法的优势，采用双目方法确定被测元件的位置，消除单目偏折测量的高度‑斜率歧义性，然后采用单个相机进行测量，克服双目测量视场较小的缺点，本发明方法对于大尺寸元件的精密测量具有重要的应用价值。

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发明授权

一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法

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