敏射线树脂组合物及其改进其防干性蚀刻性能的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00801036.6
IPC分类号：--
申请日期：
2000-06-05
申请人：
克拉瑞特国际有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	敏射线树脂组合物及其改进其防干性蚀刻性能的方法
申请号	CN00801036.6	申请日期	2000-06-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-09-19	公开/公告号	CN1313962
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	克拉瑞特国际有限公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	AZ电子材料（日本）株式会社	当前权利人	AZ电子材料（日本）株式会社
发明人	高桥修一
代理机构	北京三幸商标专利事务所	代理人	刘激扬

摘要

一个能够显著改进敏射线树脂组合物的防干性蚀刻性能的方法，其中能形成优良的图案，同时保持高敏感性和高清晰度，以及一个由此制得的敏射线树脂组合物。该敏射线树脂组合物包含有碱溶性树脂，敏射线物质以及荧光材料，该荧光材料的加入量是相对于每100重量份的敏射线物质为0.0001-1.0重量份，其中该碱溶性树脂的重均分子量比较与上述敏射线树脂组合物具有相同敏感性的，但不含有感光增强剂的敏射线树脂组合物中的碱溶性物质的重均分子量至少高5%。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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