压差传感器及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201380052765.3
IPC分类号：G01L19/06G01L9/00B81C1/00G01L13/02H01L29/84
申请日期：
2013-09-24
申请人：
恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	压差传感器及其制造方法
申请号	CN201380052765.3	申请日期	2013-09-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-10	公开/公告号	CN104704335A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L19/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L19/00 用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的 G01L19/06 防止过负载的装置或防止被测介质对测量设备产生有害影响的装置或防止测量设备对被测介质产生有害影响的装置	IPC分类号	G01L19/06;G01L9/00;B81C1/00;G01L13/02;H01L29/84查看分类表>
申请人	恩德莱斯和豪瑟尔两合公司	申请人地址	德国*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	恩德莱斯和豪瑟尔两合公司	当前权利人	恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人	伊戈尔·格特曼;托马斯·林克;彼得·诺门森;拉斐尔·泰伊朋
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	戚传江;谢丽娜

摘要

本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。

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实用新型

压差传感器及其制造方法

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