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一种基板快速冷却装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200820046736.2
  • IPC分类号:B65G47/52;H01L21/00
  • 申请日期:
    2008-04-22
  • 申请人:
    志圣科技(广州)有限公司
著录项信息
专利名称一种基板快速冷却装置
申请号CN200820046736.2申请日期2008-04-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/52IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;5;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人志圣科技(广州)有限公司申请人地址
广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人志圣科技(广州)有限公司当前权利人志圣科技(广州)有限公司
发明人杨海龙
代理机构广州市南锋专利事务所有限公司代理人李永庆
摘要
本实用新型公开了一种基板快速冷却装置,它包括设置在机架上的前、后输送装置,在前、后输送装置之间接有升降输送装置,在升降输送装置的下面设有水冷板,所述水冷板内部设有真空管路和水冷管路,真空管路与真空系统管道连接,水冷管路与水冷系统管道连接,水冷板的一面设有与真空管路相通的真空吸孔,另一面设有与水冷管路相通的进水口和出水口。本实用新型冷却速度快、冷却效果好、占地空间小。

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