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激光光轴校准方法和利用该方法的激光加工装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310098811.5
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2013-03-26
  • 申请人:
    东丽工程株式会社
著录项信息
专利名称激光光轴校准方法和利用该方法的激光加工装置
申请号CN201310098811.5申请日期2013-03-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-10-23公开/公告号CN103358018A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人东丽工程株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东丽工程株式会社当前权利人东丽工程株式会社
发明人田尾正则;中谷友哉
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王小东
摘要
本发明提供激光光轴校准方法和利用该方法的激光加工装置,从激光振荡器(1)输出的激光通过第一反射镜(3A)向第一方向反射,通过第二反射镜(7A)反射至第二方向,通过光束采样器(8)将激光分支为与焦点方向加工光不同方向的测量光(B),并将其通过光束分离器(12)分支,检测通过聚光透镜(13)聚焦在二维半导体位置检测器(14)平面上的测量光(B1)的焦点位置,并求出向垂直方向的光轴偏差,在二维半导体位置检测器(15)平面上检测测量光(B2),求出水平方向的测量光(B2)的光轴偏差,通过改变第二反射镜角度来调整角度偏差,然后根据水平方向偏差量使第一反射镜和第二反射镜向激光输出方向往复移动,由此调整光轴。

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