一种镀膜双修正叶的设计方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710214829.5
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/54
申请日期：
2017-04-01
申请人：
东莞市微科光电科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种镀膜双修正叶的设计方法
申请号	CN201710214829.5	申请日期	2017-04-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-27	公开/公告号	CN106893983A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	东莞市微科光电科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市南城区三元里社区三元里澎峒工业区第四栋第一层前部分变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市微科光电科技有限公司	当前权利人	东莞市微科光电科技有限公司
发明人	王标;吴志涵
代理机构	东莞市永桥知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	何新华

摘要

本发明系提供一种镀膜双修正叶的设计方法，包括以下步骤：设置镀膜机中包括第一蒸发源、第二蒸发源，第一蒸发源正上方设有第一修正叶，第二蒸发源正上方设有第二修正叶，第一修正叶与第二修正叶的上方设有基片；以第一蒸发源为顶点、α角为顶角与基片形成第一直角三角形，以第二蒸发源为顶点、β角为顶角与基片形成第二直角三角形；第一修正叶位于第二直角三角形的斜边外侧，第二修正叶位于第一直角三角形的斜边外侧，镀膜时，第一修正叶和第二修正叶始终处于开启状态。本发明在镀膜时，固定设置两修正叶的位置，能够降低修正叶气缸的活动频率、提高修正叶气缸的寿命，同时能提高镀膜的均匀性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供