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陶瓷基板的转运设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711078380.0
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2017-11-06
  • 申请人:
    苏州展德自动化设备有限公司
著录项信息
专利名称陶瓷基板的转运设备
申请号CN201711078380.0申请日期2017-11-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-02-23公开/公告号CN107720274A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人苏州展德自动化设备有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区杏林街98号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州展德自动化设备有限公司当前权利人苏州展德自动化设备有限公司
发明人狄建科;宗卫祥;孙大海;徐万峰
代理机构江苏圣典律师事务所代理人王玉国
摘要
本发明公开了陶瓷基板的转运设备,包括用于输送清洗篮治具的第一输送线单元、用于输送溅射治具的第二输送线单元、用于将陶瓷基板从清洗篮治具里取出的取出料四轴机器人以及用于将陶瓷基板排列至溅射治具中的转换放置六轴机器人,第一输送线单元与第二输送线单元呈并排平行布置,取出料四轴机器人和转换放置六轴机器人位于两输送线单元之间,转换放置六轴机器人与取出料四轴机器人相对。全自动化实现陶瓷基板的转运,无需人工介入,转换速度快,不易损坏陶瓷基板,避免人手指二次污染陶瓷基板。

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