清洁装置及曝光机

发明专利有效专利

申请号：
CN202011392120.2
IPC分类号：B08B5/04;B08B6/00
申请日期：
2020-12-02
申请人：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	清洁装置及曝光机
申请号	CN202011392120.2	申请日期	2020-12-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-16	公开/公告号	CN112657946A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B5/00 利用空气流动或气体流动的清洁方法（B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2，7〕 B08B5/04 用带或不带辅助动作的抽气来清洁（吸尘器入A47L）B08B 6/00用静电法清洁（家用静电清洁器入A47L 13/40；唱片纹路的清洁入G11B 3/58）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;5;/;0;4;;;B;0;8;B;6;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司	当前权利人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人	何鹏达;云家勇
代理机构	深圳紫藤知识产权代理有限公司	代理人	裴磊磊

摘要

本申请实施例公开了一种清洁装置及曝光机，其中，该清洁装置包括：壳体，包括底板和侧壁；吸嘴，设置在所述底板上，所述吸嘴用于将承载台上的尘粒吸入其内；静电吸附件，固定在所述壳体上，所述静电吸附件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部设于所述吸嘴的第一侧，所述第二吸附部设于所述吸嘴的第二侧；导出管，与所述吸嘴连接，用于将所述吸嘴内的尘粒导出。本申请实施例的清洁装置及曝光机，可以提高清洁效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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