一种掩膜框的安装系统及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201810054629.2
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
申请日期：
2018-01-19
申请人：
昆山国显光电有限公司

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著录项信息

专利名称	一种掩膜框的安装系统及方法
申请号	CN201810054629.2	申请日期	2018-01-19
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-20	公开/公告号	CN108300961A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人	昆山国显光电有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山国显光电有限公司	当前权利人	昆山国显光电有限公司
发明人	欧凌涛;李俊峰;高峰
代理机构	北京国昊天诚知识产权代理有限公司	代理人	许志勇

摘要

本申请公开了一种掩膜框的安装系统及方法，该掩膜框的安装系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，其中：所述气浮装置设置于所述掩膜载台中，所述气浮装置输出的气体使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态，并在所述反力装置结束施加反向作用力后，所述气浮装置停止输出气体以完成所述掩膜框的安装。本申请实施例通过气浮装置输出的气体可以使得掩膜框能够被顺利安装在掩膜板上，从而简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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