防腐蚀的ITO导电膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110637777.9
IPC分类号：H01B5/14;H01B13/00
申请日期：
2021-06-08
申请人：
江苏日久光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	防腐蚀的ITO导电膜及其制备方法
申请号	CN202110637777.9	申请日期	2021-06-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-10	公开/公告号	CN113241213A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01B5/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01B 电缆；导体；绝缘体；导电、绝缘或介电材料的选择（磁性材料的选择入H01F 1/00；波导管入H01P） H01B5/00 按形状区分的非绝缘导体或导电物体 H01B5/14 在绝缘支承物上有导电层或导电薄膜的	IPC分类号	H;0;1;B;5;/;1;4;;;H;0;1;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏日久光电股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市周庄镇锦周公路509号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏日久光电股份有限公司	当前权利人	江苏日久光电股份有限公司
发明人	胡业新;于佩强;刘世琴;宋尚金
代理机构	苏州科仁专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	郭杨

摘要

本发明公开了一种防腐蚀的ITO导电膜及其制备方法，包括基材层，还包括通过涂布工艺涂设在所述基材层的一面上的树脂阻挡层，通过磁控溅射工艺镀设在所述树脂阻挡层上的光匹配打底层，通过磁控溅射工艺镀设在所述光匹配打底层上的ITO导电层和通过磁控溅射工艺镀设在所述ITO导电层上的阻挡封盖层，所述树脂阻挡层的折射率为1.6‑1.7，厚度为700‑1000nm，所述光匹配打底层的折射率为1.4‑1.5，厚度为5‑15nm，所述阻挡封盖层的折射率为1.4‑2.4，厚度为1‑15nm。光学性能优异，起到较好的阻水阻氧等阻隔作用，阻挡玻璃盖板中析出的钠离子对ITO导电膜的腐蚀侵害，耐腐蚀性能更佳，并在使用及生产过程中，ITO导电膜受析出粒子影响较小，清晰寿命长，更适合于大屏显示所有人机交互领域。

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