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一种气体传感器及其制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110354503.9
  • IPC分类号:G01N27/30
  • 申请日期:
    2021-04-01
  • 申请人:
    岭南师范学院
著录项信息
专利名称一种气体传感器及其制作方法
申请号CN202110354503.9申请日期2021-04-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-11公开/公告号CN112946037A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/30IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;3;0查看分类表>
申请人岭南师范学院申请人地址
广东省湛江市赤坎区寸金路29号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人岭南师范学院当前权利人岭南师范学院
发明人赵珉;刘桂英;刘如军
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司代理人刘瑶云;陈伟斌
摘要
本发明涉及传感器技术领域,提供一种气体传感器及其制作方法。此气体传感器,包括基板、石墨烯层、金属电极对、金属氧化物层;基板、石墨烯层和金属电极对由下至上依次设置;一个金属电极对包括两个金属电极,一个金属电极对的两个金属电极之间的区域为沟道;在沟道处的石墨烯层设有间隙槽,使位于沟道处的石墨烯层断开,形成石墨烯电极对;金属氧化物层位于沟道处,且覆盖在石墨烯电极对以及间隙槽上,以连接石墨烯电极对;金属氧化物层的面积小于沟道的面积,以使沟道内具有未被金属氧化物层覆盖而裸露的石墨烯层。本发明提供一种响应强度高、响应的特异选择性好的气体传感器。

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