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磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610116575.5
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2006-09-27
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置
申请号CN200610116575.5申请日期2006-09-27
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2007-04-11公开/公告号CN1944707
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人吕超;易葵;范正修
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置,包括溅射靶材阴极、阳极及磁铁部件,其特征在于所述的磁铁部件是由许多的小的具有保护套的按一定形状排列不直接与冷却水接触的圆柱形磁铁构成的。本发明既保证了磁铁散热良好,不被冷却水腐蚀,又保证磁场不受保护套的影响。该系统有效延长了磁铁的使用寿命,提高了磁场的稳定性。对磁场分布进行了改进,有效提高了溅射靶上方的溅射粒子分布的均匀性和溅射靶材的利用率,该系统适用于镀制超大规格的基片。

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