无化学物质的干燥空气发生装置

发明专利无效专利

申请号：
CN97115444.9
IPC分类号：--
申请日期：
1997-07-21
申请人：
三菱电机株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	无化学物质的干燥空气发生装置
申请号	CN97115444.9	申请日期	1997-07-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1998-04-08	公开/公告号	CN1178307
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱电机株式会社	当前权利人	三菱电机株式会社
发明人	长舟平;福本隼明;渋谷博司;江崎浩治
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	杨凯;叶恺东

摘要

提供一种能以低成本供应无化学物质的干燥空气的无化学物质的干燥空气发生装置。在房间11内配置由室外空气导入用的风机3、化学过滤器4和HEPA过滤器5构成的风机过滤单元2和干燥空气发生装置6，由于使室外空气通过风机过滤单元2，把已除去化学烟雾和数微米级的异物的洁净无化学物质的空气供应房间11，接着把供应到房间11内的无化学物质的空气导入干燥空气发生装置6，把已除去水分的无化学物质的干燥空气通过管道和阀门10b供应给制造装置或传送装置等使用点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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