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源液进气恒压装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821144422.6
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67;H01L21/223
申请日期：
2018-07-18
申请人：
常州亿晶光电科技有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	源液进气恒压装置
申请号	CN201821144422.6	申请日期	2018-07-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;3查看分类表>
申请人	常州亿晶光电科技有限公司	申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州亿晶光电科技有限公司	当前权利人	常州亿晶光电科技有限公司
发明人	吴俊;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤
代理机构	常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱丽莎

摘要

本实用新型提供了一种源液进气恒压装置，在原有的源液进气装置基础上，设计了可为主源瓶补液的副源瓶，可有效稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，同时源瓶更换方便，无需反复拆接主源瓶，减少源瓶接口处可能存在的漏气隐患。

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