样品承载结构及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110301902.9
IPC分类号：H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244
申请日期：
2021-03-22
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	样品承载结构及方法
申请号	CN202110301902.9	申请日期	2021-03-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-04	公开/公告号	CN112908815A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/20 物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;3;7;/;0;2;;;H;0;1;J;3;7;/;2;4;4查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	曾卓
代理机构	深圳紫藤知识产权代理有限公司	代理人	李新干

摘要

一种样品承载结构，包括：样品载台，经设置以承载半导体工艺样品；以及样品支座，经设置以承载所述样品载台，其中:所述样品载台包括远离所述样品支座的表面以承载所述半导体工艺样品以及邻近所述样品支座的表面，而所述样品载台邻近所述样品支座的所述表面上设置有至少三个突出部；所述样品支座包括承载部、光学感测器以及压力感测器，其中:所述承载部用以承载所述样品载台的第一部的表面上设置有至少三个定位凹槽以分别容置所述样品载台的所述至少三个突出部，所述光学感测器设置于所述样品支座的第一部的一侧并邻近所述样品载台；以及所述压力感测器，设置于所述至少三个定位凹槽之至少二个内，以感测所述突出部是否接触所述压力感测器。

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