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复合压电基板的制造方法及压电器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110128474.0
  • IPC分类号:H01L41/22H01L41/08
  • 申请日期:
    2011-05-13
  • 申请人:
    株式会社村田制作所
著录项信息
专利名称复合压电基板的制造方法及压电器件
申请号CN201110128474.0申请日期2011-05-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-02-22公开/公告号CN102361061A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L41/22IPC分类号H01L41/22;H01L41/08查看分类表>
申请人株式会社村田制作所申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社村田制作所当前权利人株式会社村田制作所
发明人岩本敬
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人张宝荣
摘要
本发明提供一种提高支承基板的构成材料的选择性制造压电器件的复合压电基板的制造方法及压电器件。向压电基板(1)注入离子而形成离子注入部分(2)。然后,在压电基板(1)的离子注入侧的面形成由被蚀刻层(3)和临时基板(4)构成的临时支承基板。接着,对形成有临时支承基板的压电基板(1)进行加热,以离子注入部分(2)作为分离面使压电薄膜(11)从压电基板(1)分离。然后,在从压电基板(1)分离的压电薄膜(11)上形成由电介体膜(12)和基体基板(13)构成的支承基板。在此,临时支承基板由作用于压电薄膜(11)的界面的热应力比支承基板小的构成材料构成。

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