用于光导开关的衬底以及具有该衬底的光导开关

发明专利有效专利

申请号：
CN202110246609.7
IPC分类号：H01L31/02;H01L31/0232;H03K17/78
申请日期：
2021-03-05
申请人：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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著录项信息

专利名称	用于光导开关的衬底以及具有该衬底的光导开关
申请号	CN202110246609.7	申请日期	2021-03-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-29	公开/公告号	CN113054040A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备；其零部件（H01L 51/42优先；由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件，而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L 27/00）〔2，6，8〕 H01L31/02 零部件〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;0;2;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;2;;;H;0;3;K;1;7;/;7;8查看分类表>
申请人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	当前权利人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
发明人	卫新发;张育民;梁国松;王建峰;徐科
代理机构	深圳市铭粤知识产权代理有限公司	代理人	孙伟峰;武岑飞

摘要

提供了一种用于光导开关的衬底，其包括用于承载所述光导开关的第一面、与所述第一面相对的第二面以及连接所述第一面和所述第二面的侧面，所述第二面和/或所述侧面分别设置有全反射结构，所述全反射结构用于对由所述第一面进入所述衬底内的光线进行全反射。还提供了一种具有该衬底的光导开关。本发明在衬底的非承载光导开关的其他表面上形成全反射结构，该全反射结构能够将从承载光导开关的表面上入射到衬底内的光线进行全反射，以被反射回承载光导开关的表面，从而被光导开关再次利用，如此可以提高光导开关中光的利用率，降低成本，进而有利于应用该衬底的光导开关的大规模应用。

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