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用于混合式集成电路的陶瓷基片

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN95105587.9
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1995-05-29
  • 申请人:
    美国电报电话公司
著录项信息
专利名称用于混合式集成电路的陶瓷基片
申请号CN95105587.9申请日期1995-05-29
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日1996-02-28公开/公告号CN1117478
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人美国电报电话公司申请人地址
美国纽约 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人美国电报电话公司当前权利人美国电报电话公司
发明人小亨利·迈尔斯·奥布莱恩;瓦伦·威廉·罗兹
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人杨国旭
摘要
本文是生产薄Ba2Ti9O20陶瓷基片的工艺。为了生成具有98.5%密度、高损耗特性和光滑的表面的接近单相的陶瓷,应确保初始粉末在1020℃至1090℃的范围内进行预反应,加工成所要求的形状,然后在温度为1330℃至1350℃范围内烧结成型。Ba2Ti9O20化合物中掺入稍过量的TiO2会比按照标准配比或掺入稍过量Ba具有更光滑的表面。由这种预反应粉末形成的基片比在高于1075℃条件下具有较少的表面缺陷。较低的烧结温度也降低基片/安装器反应的可能性。

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