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柔性基板及柔性显示器件制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510108575.X
IPC分类号：H01L27/32;H01L21/77;H01L51/56
申请日期：
2015-03-12
申请人：
信利（惠州）智能显示有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	柔性基板及柔性显示器件制备方法
申请号	CN201510108575.X	申请日期	2015-03-12
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2015-07-01	公开/公告号	CN104752487A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/28 包括使用有机材料作为有源部分，或使用有机材料与其他材料的组合作为有源部分的组件〔8〕 H01L27/32 具有专门适用于光发射的组件，例如使用有机发光二极管的平板显示器〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;7;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人	信利（惠州）智能显示有限公司	申请人地址	广东省惠州市仲恺高新区仲恺大道666号科融创业大厦13层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信利（惠州）智能显示有限公司	当前权利人	信利（惠州）智能显示有限公司
发明人	刘海燕;任思雨;苏君海;李建华
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	温旭

摘要

本发明公开了一种柔性基板制备方法，包括：制备碳化硅薄膜；在所述碳化硅薄膜上制备金属薄膜；对所述金属薄膜进行刻蚀，形成金属网格。本发明还公开了一种柔性显示器件制备方法。应用本发明技术方案，能在与传统的TFT器件制备工艺相适应的同时，保证基板的良好的热稳定性、水汽阻挡特性和透光性。

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