可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台

1.可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：包括基座、底板、微动工作台、弹片组、驱动器和位移传感器；
所述基座固定于底板，具有弹性的所述弹片组设于所述微动工作台的两侧，且所述弹片的长度方向垂直于所述微动工作台的运动方向，并将所述微动工作台固定于所述基座内，所述驱动器安装于所述基座，所述驱动器的动力输出端连接所述微动工作台在进给方向上的运动；
所述微动工作台在进给方向设有用于位移精密检测的位移传感器；
所述弹片组设置有用于改变所述弹片组的有效变形长度的移动支撑调节机构；
所述基座与所述弹片组的连接处设置有张紧力调节模块；
所述微动工作台与基座之间设有可变阻尼器。
2.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述移动支撑调节机构包括步进电机、爪盘和双向滚珠丝杆机构；
所述双向滚珠丝杆机构沿着所述弹片组的方向，通过轴承安装于所述基座，所述步进电机与所述双向滚珠丝杆机构连接；
两个所述爪盘分别固定于所述双向滚珠丝杆结构的移动件上，分别位于所述基座的两侧，所述爪盘设有沿着所述弹片组方向设置的爪槽，所述弹片组卡装于所述爪槽内。
3.根据权利要求2所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述轴承通过轴承座固定于所述底板。
4.根据权利要求2所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述步进电机通过所述步进电机座固定于所述底板。
5.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述基座与所述弹片组连接处设有槽，所述槽在所述基座的内侧形成可变形的弹性件，所述张紧力调节模块包括所述弹性件和用于调节所述弹性件变形度的频率调节机构，所述频率调节机构安装于所述基座。
6.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述位移传感器为电容极板组，所述电容极板组包括两个平行设置的电极，两个所述电极分别固定于所述微动工作台和所述基座。
7.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述可变阻尼器设置于所述微动工作台与所述底板或所述基座之间，并分别与所述底板或所述基座及所述微动工作台相连接。
8.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述驱动器包括有定子和动子，所述的定子固定于所述基座或所述底板，所述动子固定于所述微动工作台。
9.根据权利要求6所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：两个平行设置的所述电极的非工作面设有绝缘层。
10.根据权利要求1所述的可变阻尼式移动支撑与张紧力复合调节微动平台，其特征在于：所述基座、底板、微动工作台和弹片组是一体式结构。

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