闸阀装置、真空处理装置和闸阀装置中的阀体的开放方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200810176501.X
IPC分类号：H01L21/00;F16K3/00;F16K31/122
申请日期：
2008-11-07
申请人：
东京毅力科创株式会社

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著录项信息

专利名称	闸阀装置、真空处理装置和闸阀装置中的阀体的开放方法
申请号	CN200810176501.X	申请日期	2008-11-07
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2009-05-13	公开/公告号	CN101431010
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;F;1;6;K;3;/;0;0;;;F;1;6;K;3;1;/;1;2;2查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	锅山裕树
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供一种闸阀装置，能够不产生粒子以及不使机构部寿命降低，且能够将动作时间控制在目标时间内。设置在真空处理室(10)的侧壁，并且用于开闭玻璃基板G的搬入搬出用的搬入搬出口的闸阀装置(30)，具有：开闭搬入搬出口(10a)的阀体(33)，驱动阀体(33)的气缸(36)，和根据阀体(33)的位置以使阀体(33)的移动速度不同的方式控制阀体(33)的驱动的空气驱动电路(60)。

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