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制造基板的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710728808.5
  • IPC分类号:B24B37/30;B24B37/04;H01L21/304
  • 申请日期:
    2017-08-23
  • 申请人:
    信越化学工业株式会社
著录项信息
专利名称制造基板的方法
申请号CN201710728808.5申请日期2017-08-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-03-09公开/公告号CN107775523A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B37/30IPC分类号B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人信越化学工业株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人信越化学工业株式会社当前权利人信越化学工业株式会社
发明人石塚洋行;渡部厚;竹内正树
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人杜丽利
摘要
提供了加工工具,其包括旋转轴(6),安装在该轴上的抛光板(3),连接到该抛光板(3)的可伸缩的弹性体片材(4),连接到该弹性体片材(4)的磨研布(5),和按压装置,其在多个位置以各自预定的不同压力按压该弹性体片材(4)从而该磨研布的下表面(5)依照在多个位置施加到该弹性体片材(4)的不同的按压力变形到期望的形状。基板通过使该磨研布的变形表面(5)与基板原料接触,和旋转并移动该加工工具以在选定面积抛光该基板来制造。

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