工件破损防止方法及设备

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专利名称	工件破损防止方法及设备
申请号	CN200980117951.4	申请日期	2009-05-15
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-06-08	公开/公告号	CN102089873A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	加拿大马特森技术有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	马特森技术有限公司	当前权利人	马特森技术有限公司
发明人	大卫·马尔科姆·卡姆;约瑟夫·西贝尔;格雷戈·斯图尔特;史蒂夫·麦科伊
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	康建峰;李春晖

摘要

公开了用于对工件进行热处理的方法和设备。一种说明性的方法包括：测量工件在其热处理期间的变形；以及响应于对工件的变形的测量，关于工件的热处理而采取措施。工件可包括半导体晶片。采取措施可包括向在热加工期间对晶片进行的温度或反射率测量施加变形校正，或者可包括修改例如晶片的热处理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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